主要参数

平  面  度       ≤0.02mm/m2

平面粗糙度 不大于0.6～0.8μm

固有频率   垂直方向＜1.35Hz

           水平方向＜1Hz

振幅             ≤1μm
表面处理为密迪纹
调平方式：自动
充气方式：自动

仪器成套性

气垫式自平衡桌腿，静音气泵，自平衡阀，连接杆，气管等

产品规格

1500×1000×800mm（四支撑）

1800×1200×800mm（四支撑）

2400×1200×800mm（四支撑）

3000×1500×800mm（六支撑）

3500×1200×800mm（六支撑）