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   产品展示
 


                                         

超声雾化热解喷涂薄膜制备设备 CQUT USP系列
 
      超声雾化热解喷涂(Ultrasonic Spray Pyrolysis,USP)是利用超声波的能量把特定成分和浓度的前驱体溶液雾化为粒径微米量级的小液滴,在一定流速载气输运下到达加热的衬底表面附近,热分解后固态生成物沉积到衬底材料表面形成薄膜的薄膜制备工艺。
     USP方法广泛用于制备单元和多元氧化物、硫化物、氯化物薄膜材料,典型的如ZnO、TiO2、NiO、Al2O3、CdS、ITO等等。这种方法不需要维持真空环境,也不存在高气压过程,衬底温度低(通常不超过600℃),原材料容易获取和准备,成膜速度快,纯度高,表面致密光滑等特点,设备结构简单,操作容易且安全性高。非常适合大中专院校和科研机构进行薄膜材料的制备和研究工作。
     CQUT USP系列超声雾化热解喷涂设备由反应室、衬底加热与旋转机构、雾化室、雾化控制电路、载气回路、尾气回收回路、循环冷却水系统和其他电控系统等几个部分组成。反应室按照高真空腔体标准设计和加工,美观、耐服饰、美观度高。雾化室304不锈钢制作,具有特有的载气驱动和阻流汇流结构,保证了进入反应室的雾滴尺寸小且分布均匀。多雾化室设计为多元薄膜制备和掺杂提供了更高的可靠性和可选择性。特有的尾气回收设计避免了酸性或者碱性气态或液态反应物的自由扩散,提高了实验室的空气质量,也没有发生其他危险的可能性。循环冷却水系统通过静音强力水泵驱动维持系统工作的温度环境,节省了宝贵的水资源。
      CQUT USP系列超声雾化热解喷涂薄膜制备设备根据用户不同的需求,有不同的型号,基本型号有I、II、IIA、IIB四种。
其中II型是标准配置,主要系统参数如下:
反 应 室:D300×H300,304不锈钢,双层水冷结构,D80真空观察窗,
        上翻盖设计,预留两路KF35接口供用户选用;
衬底结构:304不锈钢衬底托,可旋转,转速可显可调;
         碘钨灯加热,温度范围RT-600℃,控制精度优于±1℃;
雾化系统:304不锈钢材质,雾化频率1.7MHz,功率可调可显;
         雾化腔体数量2,载气流量、雾化功率独立调节;
         前驱体溶液自动供料,液位高度电子控制,保证稳定雾化量;
气路系统:小型空气压缩机提供过滤空气为载气,配置有三路其它载气接入管
         路和混气,支持用户用瓶装高压气体作为载气。流量控制采用玻璃
         浮子流量计;
冷却系统:循环式冷却系统,不锈钢水箱,静音大功率泵驱动;
控制系统:独立标准19寸机柜,关键操作电路具有自锁功能,防止误操作导致
         的以为损坏。
电     源:整机功率4Kw,220VAC 50Hz
其     他:机架采用功率铝型材,美观轻便。下部配有高强度可移动支脚,
           方便移动。操作台面镜面不锈钢板,美观耐腐蚀;
           占地面积 1.6㎡,重量180kg;
 
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