超声雾化热解喷涂设备(双源雾化超声系统）是基于喷涂法薄膜制备原理工作的，可用于制备单元氧化物、多元氧化物、I-VI、IIV-VI、III-VI、IV-VI、V-VI双元硫族化合物、三元硫族化合物薄膜制备。如ZnO、SnO2、MgO、NiO、Cr2O3、TiO2、CdS、CdTe、CdxZn1-xS、Cu2ZnSnS4等等。
它由超声雾化器、薄膜沉积室、管路组件、控制组件等部分构成。关键部件采用不锈钢制造，耐酸碱，薄膜样品污染程度小。雾化器工作频率1.7Mhz、2.0MHz、2.4MHz。独特的载气输运结构设计有效避免大液滴到达衬底表面，保证薄膜材料良好的均匀性。
为了满足掺杂制备需要，本设备提供两个雾化室（主雾化室和掺杂室），也可以根据用户需求最多增加到4个。雾化室功率雾化功率可调，具有低液位报警功能。衬底加热采用碘钨灯方式，衬底温度范围室温~800℃。提供压缩空气、氧气、氮气、氩气等多种载气方式，最大限度满足用户多样性需求。
自带循环水系统，采用静音微型水泵，节约用水成本。
袖珍型
卧式布局，体积小，放置在普通实验桌上进行实验。控制箱独立配置，超声雾化室、薄膜沉积室、载气组件等构成主机。工作频率1.7MHz、2.0MHz、2.4MHz可选。反应室备有石英观察窗，内置照明灯。两个超声雾化室，侧向供料，雾化功率200W。整机功率（AC220V 50Hz）1.2Kw，重量约25Kg。
标准型
整体箱式布局，喷塑侧板，不锈钢台面。工作频率1.7MHz、2.0MHz、2.4MHz可选。反应室备有石英观察窗，内置照明灯。内置加热烘烤部件。两个超声雾化室，竖直向上供料，雾化器功率300W。整机功率（AC220V 50Hz）2.5Kw，重量约125Kg。
增强科研型
控制箱与主机并列摆放。控制箱外观尺寸 1500mm（H）×600mm（D）×550mm（W），喷塑侧板，备有标准仪表扩展槽。工作频率1.7MHz、2.0MHz、2.4MHz。两个超声雾化室，竖直向上供料。雾化功率400W，整机功率（AC220V 50Hz）3.5Kw，重量约200Kg。
其它说明：
1、供货期 袖珍型3个月，标准型和科研增强型4个月。
2、可根据用户要求定制。
3、提供膜层制备技术工艺指导。 |
